बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट के निरंतर विकास के साथ, चिप निर्माण प्रक्रिया अधिक से अधिक जटिल होती जा रही है, और अर्धचालक सामग्रियों की असामान्य सूक्ष्म संरचना और संरचना चिप उपज के सुधार में बाधा डालती है, जो नए अर्धचालक और एकीकृत सर्किट प्रौद्योगिकियों के कार्यान्वयन के लिए बड़ी चुनौतियां लाती है।
जीआरजीटीईएसटी ग्राहकों को अर्धचालक और एकीकृत सर्किट प्रक्रियाओं को बेहतर बनाने में मदद करने के लिए व्यापक अर्धचालक सामग्री माइक्रोस्ट्रक्चर विश्लेषण और मूल्यांकन प्रदान करता है, जिसमें वेफर लेवल प्रोफाइल और इलेक्ट्रॉनिक विश्लेषण की तैयारी, अर्धचालक विनिर्माण से संबंधित सामग्रियों के भौतिक और रासायनिक गुणों का व्यापक विश्लेषण, अर्धचालक सामग्री संदूषक विश्लेषण कार्यक्रम का निर्माण और कार्यान्वयन शामिल है।
अर्धचालक सामग्री, कार्बनिक लघु अणु सामग्री, बहुलक सामग्री, कार्बनिक/अकार्बनिक संकर सामग्री, अकार्बनिक गैर-धातु सामग्री
1. चिप वेफर स्तर प्रोफ़ाइल तैयारी और इलेक्ट्रॉनिक विश्लेषण, केंद्रित आयन बीम प्रौद्योगिकी (डीबी-एफआईबी) के आधार पर, चिप के स्थानीय क्षेत्र की सटीक कटाई, और वास्तविक समय इलेक्ट्रॉनिक इमेजिंग, चिप प्रोफ़ाइल संरचना, संरचना और अन्य महत्वपूर्ण प्रक्रिया जानकारी प्राप्त कर सकती है;
2. अर्धचालक विनिर्माण सामग्री के भौतिक और रासायनिक गुणों का व्यापक विश्लेषण, जिसमें कार्बनिक बहुलक सामग्री, छोटे अणु सामग्री, अकार्बनिक गैर-धातु सामग्री संरचना विश्लेषण, आणविक संरचना विश्लेषण आदि शामिल हैं;
3. अर्धचालक सामग्रियों के लिए संदूषक विश्लेषण योजना का निर्माण और कार्यान्वयन। यह ग्राहकों को प्रदूषकों की भौतिक और रासायनिक विशेषताओं को पूरी तरह से समझने में मदद कर सकता है, जिसमें शामिल हैं: रासायनिक संरचना विश्लेषण, घटक सामग्री विश्लेषण, आणविक संरचना विश्लेषण और अन्य भौतिक और रासायनिक विशेषताओं का विश्लेषण।
सेवाप्रकार | सेवासामान |
अर्धचालक पदार्थों का तत्व संरचना विश्लेषण | एल ईडीएस तत्व विश्लेषण, एल एक्स-रे फोटोइलेक्ट्रॉन स्पेक्ट्रोस्कोपी (एक्सपीएस) तत्व विश्लेषण |
अर्धचालक पदार्थों की आणविक संरचना विश्लेषण | एल एफटी-आईआर अवरक्त स्पेक्ट्रम विश्लेषण, एल एक्स-रे विवर्तन (एक्सआरडी) स्पेक्ट्रोस्कोपिक विश्लेषण, एल परमाणु चुंबकीय अनुनाद पॉप विश्लेषण (H1NMR, C13NMR) |
अर्धचालक पदार्थों का सूक्ष्म संरचना विश्लेषण | एल डबल फोकस्ड आयन बीम (डीबीएफआईबी) स्लाइस विश्लेषण, सूक्ष्म आकारिकी को मापने और देखने के लिए फील्ड एमिशन स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी (FESEM) का उपयोग किया गया था, सतह आकृति विज्ञान अवलोकन के लिए परमाणु बल माइक्रोस्कोपी (एएफएम) |